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MS1000 / MS2000
(이동식
국소배기
정화장치)
필터 & dry
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1. 밀폐된 공간 내 악취(CL2,BCL3,NH3) 및 VOC제거
- Chemical 교체작업 및 누출시 국소부위 냄새제거
- Toxic Gas 누출등의 Emergency 상황시 단기간 비상 Scrubber로 사용가능
- 오염발생 위치 및 오염원에 따라 포집제 선택가능
ex : CL2 , BCL3, HF , HCL , F2 , NH3, H2S, CH3SH, NaOH , CCl4 ….,
2. Clean Air Recycling 방식
- 오염된 공기의 오염물질만 제거하고, Clean Air는 ULPA Filter 를 통하여 Cleanroom내로 배출함.
- 오염된 공기를 외부로 배기하지 않으므로 Cleanroom Air Balance를 유지함.
- Filter를 채용하여 Cleanroom 모든 공간에서 사용가능하며,
특히 공정장비에 직접사용 가능함.
3. 이동 및 고정식으로도 설치가능
- Compact한 Design으로 Cleanroom 전역에 사용가능
- 제한된 공간에는 고정식으로 설치가능
4. Operator
- Photo Resist(이하 PR) 교체작업시 발생되는 VOC 제거
- Bowl Change 등의 장비PM시 발생되는 냄새제거
- 장비 Trouble로 인한 Chemical 누출시 발생되는 냄새제거
(mocvd, Photo, Wet Etch, CVD등 )
5. Engineer
- PR, EBR, Developer, HMDS Filter 교체시 발생되는 악취제거
- Wet Etching용 Chemical Filter교체시 발생되는 휘발성오염물 (VOC) 확산방지
- Chamber 장비의 Gas Line교체 및 Modification시 발생,예측되는 Gas누출, 확산방지
- Chamber Cleaning시 발생되는 Particle 확산방지
6. 기타
- 밀폐된 공간 또는 배기가 제한되는 공간의 악취제거
(예. CMP, Parts Cleaning room등 반도체 전 공정적용) |
MS1000
4,000slm
MS2000
20,000slm |
Power
208~220V |
