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1. Scope of the Specifications
- Cleaning : Acid Wet Ststion
- Wet Etch : Acid Wet Station
- Develop : Solvent Wet Station
- Strip : Acid / Solvent Wet Station
2. Wet Station 특징
- Color Touch Screen 적용.
- 사용자 위주로 구성된 Operation 화면.
- PLC를 적용 전기계장 공간 확보 및 Touch Screen과의 연계로
사용 편의서 극대화.
- Manual Sliding Type Door 적용
- Unit 내부 배관을 PFA Tube 배관을 하여 시인성 확보 및
내화학성이 좋음. |
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