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1. Scope of the Specifications
- Cleaning : Acid Wet Ststion
- Wet Etch : Acid Wet Station
- Develop : Solvent Wet Station
- Strip : Acid / Solvent Wet Station
2. Wet Station 특징
- Color Touch Screen 적용.
- 사용자 위주로 구성된 Operation 화면.
- PLC를 적용 전기계장 공간 확보 및 Touch Screen과의 연계로 사용 편의서 극대화.
- Manual Sliding Type Door 적용
- Unit 내부 배관을 PFA Tube 배관을 하여 시인성 확보 및 내 화학성이 좋음. |
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3D Modeling으로 최적,최소 Size Body 및 배관 설계 및 Dead Zone 최소화.
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Unit 내부 Chemical Tank 설치 . |
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Part용도별 Eye Marking. |
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Manual Valve Safety Cap설치로 Valve
오작동 최소화.
중요 Parts 보호 Cover 설치. |
